Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.05)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смолин, В. К. |
| Опубликовано: | Горький , 1990 |
| Физические характеристики: |
187 с. : прил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41782530000 | ||
| 005 | 20080219134028.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.05) |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 187 с. $c прил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 160-178. Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Смолин $b В. К. $g Валентин Константинович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |