Исследование процессов дефектообразования в структурах с планарным геттером при высокодозовой имплантации [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 18.04.90: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рудской, И. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
181 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||