Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.13.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Розенталь, Г. О. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
195 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41706430000 | ||
| 005 | 20080219123648.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.13.07) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 195 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 171-181 |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Розенталь $b Г. О. $g Георг Оскарович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |