Вторично-ионный анализ материалов и структур электронной техники с управлением газовой средой в зоне анализа [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. Ф. |
| Опубликовано: | Л. , 1990 |
| Физические характеристики: |
402 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41667900000 | ||
| 005 | 20080219123122.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Вторично-ионный анализ материалов и структур электронной техники с управлением газовой средой в зоне анализа $b [Микроформа] $e Дис. ... д-ра техн. наук $e (05.27.02) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 402 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 381-402. - Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попов $b В. Ф. $g Владимир Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |