|
|
|
|
|
00000cbm0a22000001id4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr41633990000 |
| 005 |
20141230083840.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080219d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин
$b Микроформа
$e Дис. ... канд. техн. наук
$e (05.27.06)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 243 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 221-240. - Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Патюков
$b С. И.
$g Сергей Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080219
$g psbo
|
