Механические свойства и структурные особенности аморфных пленок диоксида и нитрида кремния, освященных из газовой фазы [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Носков, А. Г. |
| Wydane: | Новосибирск , 1989 |
| Opis fizyczny: |
233 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||