Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Новик, А. В. |
Опубликовано: | Мн. , 1990 |
Физические характеристики: |
170 с.
|
Язык: | Русский |
00000nbm0a22000001id4500 | |||
001 | BY-NLB-rr41594610000 | ||
005 | 20140827121958.2 | ||
100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a BY |
200 | 1 | # | $a Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.01) |
210 | # | # | $a Мн. $d 1990 |
215 | # | # | $a 170 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 163-170 |
615 | # | # | $a Белорусский национальный документ |
686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Новик $b А. В. $g Александр Владимирович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |