Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 20.06.90: (05.11.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мухамедханов, У. Т. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1989 |
| Физические характеристики: |
195 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||