Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 20.06.90: (05.11.13)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мухамедханов, У. Т. |
Опубликовано: | Ташкент , 1989 |
Физические характеристики: |
195 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
00000nbm0a22000001id4500 | |||
001 | BY-NLB-rr41561750000 | ||
005 | 20080219132000.0 | ||
100 | # | # | $a 20080219d1989 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a UZ |
200 | 1 | # | $a Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e Утв. 20.06.90 $e (05.11.13) |
210 | # | # | $a Ташкент $d 1989 |
215 | # | # | $a 195 с. $c ил. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 135-147 |
686 | # | # | $a 05.11.13 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Мухамедханов $b У. Т. $g Улугбек Тургудович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |