Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 20.06.90: (05.11.13)

Сохранено в:
Шифр документа: 0490002395,
Вид документа: Диссертации
Автор: Мухамедханов, У. Т.
Опубликовано: Ташкент , 1989
Физические характеристики: 195 с. : ил.
Язык: Русский
00000nbm0a22000001id4500
001 BY-NLB-rr41561750000
005 20080219132000.0
100 # # $a 20080219d1989 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UZ 
200 1 # $a Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем  $b [Микроформа]  $e Дис. ... канд. техн. наук  $e Утв. 20.06.90  $e (05.11.13) 
210 # # $a Ташкент  $d 1989 
215 # # $a 195 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 135-147 
686 # # $a 05.11.13  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Мухамедханов  $b У. Т.  $g Улугбек Тургудович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080219  $g psbo