Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 01.02.89: (01.04.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Младенов, А. Й. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1988 |
| Физические характеристики: |
168 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||