Угловые и энергетические распределения вторичных ионов при распылении поликристаллов [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 30.08.89: (01.04.04)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Миннебаев, К. Ф. |
| Publié: | М. , 1989 |
| Description matérielle: |
131 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||