Угловые и энергетические распределения вторичных ионов при распылении поликристаллов [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 30.08.89: (01.04.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Миннебаев, К. Ф. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
131 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||