Метод фотостимулированной очистки и выращивания полупроводниковых слоев [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 18.10.89: (05.27.06)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Лойко, Н. Н. |
Опубликовано: | М. , 1988 |
Физические характеристики: |
94 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
00000nbm0a22000001id4500 | |||
001 | BY-NLB-rr41464160000 | ||
005 | 20080219125417.0 | ||
100 | # | # | $a 20080219d1988 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Метод фотостимулированной очистки и выращивания полупроводниковых слоев $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e Утв. 18.10.89 $e (05.27.06) |
210 | # | # | $a М. $d 1988 |
215 | # | # | $a 94 с. $c ил. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 86-93 |
686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Лойко $b Н. Н. $g Нушин Надеровна |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |