|
|
|
|
|
00000nbm0a22000001id4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr41312480000 |
| 005 |
20140827121726.5 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080219d1990 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния
$b [Микроформа]
$e Дис. ... канд. техн. наук
$e (05.27.01)
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 188 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 173-188. - Для служеб. пользования
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Калошкин
$b А. Э.
$g Андрей Эдуардович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080219
$g psbo
|
