Методы повышения производительности и разрешающей способности процессов микролитографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 09.09.87: (05.27.01)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Казберук, Я. |
| Publicado: | Л. , 1987 |
| Descripción Física: |
196 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||