Методы повышения производительности и разрешающей способности процессов микролитографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 09.09.87: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Казберук, Я. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
196 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||