Методы повышения производительности и разрешающей способности процессов микролитографии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 09.09.87: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Казберук, Я. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
196 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41307020000 | ||
| 005 | 20080219132633.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Методы повышения производительности и разрешающей способности процессов микролитографии $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e Утв. 09.09.87 $e (05.27.01) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 196 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 170-193 |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Казберук $b Я. $g Ярослав |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |