Электронно-лучевая литография структур специальной геометрии [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 18.07.90: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Давыдов, А. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1988 |
| Физические характеристики: |
169 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41181080000 | ||
| 005 | 20080219135215.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Электронно-лучевая литография структур специальной геометрии $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук $e Утв. 18.07.90 $e (05.27.01) |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 169 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 155-166 |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Давыдов $b А. В. $g Алексей Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |