Синтез слоев нитрида и диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана [[Микроформа]]: Дис. ... канд. хим. наук: Утв. 29.08.90: (02.00.04)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Васильев, В. Ю. |
| Апублікавана: | Новосибирск , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
182 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||