Синтез слоев нитрида и диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана [[Микроформа]]: Дис. ... канд. хим. наук: Утв. 29.08.90: (02.00.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1989 |
| Физические характеристики: |
182 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41084260000 | ||
| 005 | 20080219124517.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Синтез слоев нитрида и диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. хим. наук $e Утв. 29.08.90 $e (02.00.04) |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 182 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 168-180 |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Васильев $b В. Ю. $g Владислав Юрьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |