Исследование процесса магнетронного напыления сверхпроводниковых пленок NbN для СВЧ устройств [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.02)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Бидзински, Я. |
Опубликовано: | Л. , 1991 |
Физические характеристики: |
134 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|