Анализ многокомпонентных материалов микроэлектроники методом масс-спектрометрии вторичных ионов [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Балчайтис, Г. А. |
| Опубликовано: | Каунас , 1990 |
| Физические характеристики: |
193 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41009580000 | ||
| 005 | 20080219131012.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a LT |
| 200 | 1 | # | $a Анализ многокомпонентных материалов микроэлектроники методом масс-спектрометрии вторичных ионов $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.06) |
| 210 | # | # | $a Каунас $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 193 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 177-193 |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Балчайтис $b Г. А. $g Гинутис Антанович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |