Исследование и разработка процесса формирования эпитаксильных структур "кремний на диелектрике" для совершенствования технологии СБИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Акулёнок, М. В. |
| Publicado: | М. , 1990 |
| Descripción Física: |
125 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||