|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40841840000 |
| 005 |
20080117120923.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 3 р.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [83-66804]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080117d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Эллипсометрия - метод исследования поверхности
$e [Сб. ст.]
$f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
$g Отв. ред. А. В. Ржанов
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$c Наука. Сиб. отд-ние
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 179 с.
$c ил.
$d 26 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 1850 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Эллипсометрия - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.211.082.5
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ржанов
$b А. В.
$g Анатолий Васильевич
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Институт физики полупроводников. Новосибирск
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080117
$g psbo
|
