Электронные механизмы лазерного отжига полупроводников / П. К. Хабибуллаев, Б. Л. Оксенгедлер, Ю. В. Пахаруков, Б. Аскаров

Сохранено в:
Шифр документа: 91657,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Ташкент , 1985
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Серия: Ин-т ядер. физики АН УзССР Р-9-175
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr40812000000
005 20140214132947.6
010 # # $d 12 к. 
021 # # $a RU  $b [85-94167] 
100 # # $a 20080117d1985 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UZ 
200 1 # $a Электронные механизмы лазерного отжига полупроводников  $f П. К. Хабибуллаев, Б. Л. Оксенгедлер, Ю. В. Пахаруков, Б. Аскаров 
210 # # $a Ташкент  $d 1985 
215 # # $a 17 с. 
225 2 # $a Ин-т ядер. физики АН УзССР  $v Р-9-175 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-17 (25 назв.) 
345 # # $9 275 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Отжиг лазерный 
675 # # $a 621.315.592.002 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080117  $g psbo