|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40809920000 |
| 005 |
20140507141649.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 90 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-58845]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080117d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
$f [Дж. Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот и др.]
$g Под ред. Дж. Р. Брюэра; Пер. с англ. под ред. Ф. П. Пресса
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 336 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Перевод изд.: Electron-beam technology in microelectronic fabrication (New York, 1980). Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр.: с. 316-328
|
| 345 |
# |
# |
$9 5700 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронно-лучевая обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7
|
| 701 |
# |
1 |
$a Брюэр
$b Д. Р.
$g Джордж Р
|
| 702 |
# |
1 |
$a Пресс
$b Ф. П.
$g Феликс Павлович
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080117
$g psbo
|
