|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40504590000 |
| 005 |
20171104103309.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 18 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-6909]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Химические процессы в микроэлектронике
$e Учеб. пособие
$f Л. С. Ионычева, Н. Д. Волкова, Е. Д. Крапивная, И. А. Батракова
$g Харьк. авиац. ин-т им. Н. Е. Жуковского
|
| 210 |
# |
# |
$a Харьков
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 47 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 47 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство - Физико-хим. основы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:54(075.8)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
