|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40472560000 |
| 005 |
20120629160619.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В переплете
$d 1 р. 57 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [74-13583]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1974 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a DE
|
| 200 |
1 |
# |
$a Фотолитография и оптика
$f [Я. А. Федотов, В. В. Волцит, И. Н. Рубцов и др.]
$g под редакцией Я. А. Федотова и Г. Поля
|
| 210 |
# |
# |
$a Берлин
$a М.
$c Техника
$c Советское радио
$d 1974
|
| 215 |
# |
# |
$a 392 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 8900 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002:655.226.2
|
| 701 |
# |
1 |
$a Федотов
$b Я. А.
$g Яков Андреевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
