Индуцированные термообработкой физико-химические процессы в пленочных структурах, сформированных из растворов тетраэтоксисилана на кремнии и антимониде индия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Гапоненко Николай Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 154476/92СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гапоненко, Н. В. (род. 1962)
Опубликовано: Минск , 1992
Физические характеристики: 22 с., включая обложку
Язык: Русский
Предмет:
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
СИНТЕЗ (хим.)
ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС
КСЕРОГЕЛИ
ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ
ТЕТРАЭТОКСИСИЛАН
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ
АНТИМОНИД ИНДИЯ
ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-rr39335380000
005 20220415121812.0
100 # # $a 20071023d1992 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Индуцированные термообработкой физико-химические процессы в пленочных структурах, сформированных из растворов тетраэтоксисилана на кремнии и антимониде индия  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника  $f Гапоненко Николай Васильевич  $g Минский радиотехнический институт 
210 # # $a Минск  $d 1992 
215 # # $a 22 с., включая обложку 
320 # # $a Библиография: с. 19—22 (24 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2445715  $a СИНТЕЗ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar73978  $a ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4417069  $a КСЕРОГЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37399  $a ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1668958  $a ТЕТРАЭТОКСИСИЛАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1595507  $a ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659644  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar66272  $a АНТИМОНИД ИНДИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2745708  $a ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18378  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.232(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:661.886'027.868.2.091.3:544.77.022.822(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:661.681-405.8.091.3:544.77.022.822(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-03(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.39  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-526359  $a Гапоненко  $b Н. В.  $g Николай Васильевич  $c доктор физико-математических наук  $c кандидат технических наук  $f род. 1962 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 995  $4 595 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071023  $g psbo 

Схожие документы