Исследование и разработка процессов получения пленок тантала, нитридов тантала, сплава РС-3710, нихрома катодным распылением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ383451СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гаврилюк, О. Я.
Опубликовано: Киев , 1980
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr39197120000
005 20071023155229.0
100 # # $a 20071023d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Исследование и разработка процессов получения пленок тантала, нитридов тантала, сплава РС-3710, нихрома катодным распылением  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18) 
210 # # $a Киев  $d 1980 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН УССР, Ин-т кибернетики. Библиогр.: с. 22-23 (10 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Гаврилюк  $b О. Я.  $g Олег Яковлевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071023  $g psbo