|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38961640000 |
| 005 |
20140613141606.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-68373]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071023d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование технологических процессов изготовления БИС
$e Учеб. пособие
$f К. А. Волосов, В. Г. Данилов, В. П. Маслов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭМ
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 131 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.: с. 128-131 (60 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство - Математические исследования
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:51
|
| 700 |
# |
1 |
$a Волосов
$b К. А.
$g Константин Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Данилов
$b В. Г.
$g Владимир Григорьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Маслов
$b В. П.
$g Виктор Павлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071023
$g psbo
|
