Вопросы технологии производства микроэлектронной аппаратуры: Учеб. пособие по курсу "Технология производства МЭА"

Сохранено в:
Шифр документа: 58605,
Вид документа: Книги
Автор: Волков, В. А.
Опубликовано: М. , 1983
Физические характеристики: 116 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr38908680000
005 20150312093412.0
010 # # $d 31 к. 
021 # # $a RU  $b [85-12911] 
100 # # $a 20071023d1983 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Вопросы технологии производства микроэлектронной аппаратуры  $e Учеб. пособие по курсу "Технология производства МЭА" 
210 # # $a М.  $d 1983 
215 # # $a 116 с. 
300 # # $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники 
345 # # $9 200 экз. 
610 0 # $a Радиоэлектронная аппаратура на интегральных схемах - Производство 
675 # # $a 621.382.049.77.002(075.8) 
700 # 1 $a Волков  $b В. А.  $g Виталий Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071023  $g psbo