|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38738780000 |
| 005 |
20210406093759.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-217-00726-5
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-124]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии
$f Центр. правл. Всесоюз. НТО приборостроителей им. С. И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато-и приборостроению
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Машиностроение
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 53 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. в надзаг.: НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова. - Библиогр.: с. 52 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография электронная
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство - Применение вакуума
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.002:621.7/.9.047/.048(075.9)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Виноградов
$b М. И.
$g Михаил Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Маишев
$b Ю. П.
$g Юрий Петрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
