|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38575270000 |
| 005 |
20220414180811.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1988 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы атомной диффузии при неравновесном состоянии компонентов дефектно-примесной системы кристаллов кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника
$f Величко Олег Иванович
$g Академия наук БССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 24, [1] с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце текста
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1657703
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25538
$a ПРИМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9565
$a ДИФФУЗИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2203367
$a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37857
$a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5212187
$a ЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592:546.28:621.793.18:519.6(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 27.41
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.17
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-119447
$a Величко
$b О. И.
$g Олег Иванович
$c доктор физико-математических наук, физик
$f род. 1953
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar5102567
$a Минский радиотехнический институт
$4 595
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/48395_88.pdf
|
