Окисление германия и кремния и процессы диффузии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, Я. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1972 |
| Физические характеристики: |
10 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт доклада
|
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38467770000 | ||
| 005 | 20071022173918.0 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [72-69228] |
| 100 | # | # | $a 20071022d1972 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Окисление германия и кремния и процессы диффузии |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1972 |
| 215 | # | # | $a 10 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт доклада $f Ин-т физики полупроводников Сиб. отд-ния АН СССР. Всесоюз. семинар "Физическая химия поверхности монокристаллических полупроводников" |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 10 (8 назв.) |
| 345 | # | # | $9 120 экз. |
| 675 | # | # | $a 537.311.322 |
| 700 | # | 1 | $a Васильев $b Я. В. |
| 701 | # | 1 | $a Аюпов $b Б. М. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071022 $g psbo |