Синтез слоев нитрида диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана: (02.00.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и перераб. минер. сырья
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Васильев, В. Ю. |
| Published: | Новосибирск , 1990 |
| Physical Description: |
19, [1] с. : ил.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||