|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38432500000 |
| 005 |
20221213155555.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкие пленки TiSi2, конденсированные в сверхвысоком вакууме из молекулярных пучков, для металлизации в СБИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e (05.27.01)
$f АН СССР, Ин-т общей физики
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Васильев
$b А. Г.
$g Андрей Георгиевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
