Физика субмикронной литографии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Валиев, К. А. |
| Опубликовано: | М. : Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит. , 1990 |
| Физические характеристики: |
528 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38351700000 | ||
| 005 | 20200220111424.0 | ||
| 010 | # | # | $d 7 р. 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [90-69260] |
| 100 | # | # | $a 20071004d1990 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физика субмикронной литографии |
| 210 | # | # | $a М. $c Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 528 с. $c ил., табл. |
| 300 | # | # | $a Библиогр. в конце гл. |
| 345 | # | # | $9 1520 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Литография |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.774.002 |
| 700 | # | 1 | $a Валиев $b К. А. $g Камиль Ахметович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |