|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38351610000 |
| 005 |
20150701140719.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-40604]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071004d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Модель плазмохимического травления полимеров
$f К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 с.
$c рис.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Физика твердого тела
$v Препринт № 45
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН СССР, Ин-т общей физики, Лаб. микроэлектроники. Библиогр.: с. 29-30 (15 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полимеры - Травление
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плазмохимия
|
| 675 |
# |
# |
$a 678.01:53
|
| 700 |
# |
1 |
$a Валиев
$b К. А.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071004
$g psbo
|
