Получение тонких пленок тантала, молибдена и алюминия методом катодного распыления для интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Вакуленко, Л. Н. |
| Опубликовано: | Киев , 1984 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38339750000 | ||
| 005 | 20071004163051.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20071004d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Получение тонких пленок тантала, молибдена и алюминия методом катодного распыления для интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Окт. соц. революции. Библиогр.: с. 16-17 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Вакуленко $b Л. Н. $g Леонид Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071004 $g psbo |