Разработка системы межоперационного контроля технологического процесса линейных интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11) / Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бударин, В. Н. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1976 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||