Разработка системы межоперационного контроля технологического процесса линейных интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11) / Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бударин, В. Н. |
| Опубликовано: | Таганрог , 1976 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38039700000 | ||
| 005 | 20070831124706.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка системы межоперационного контроля технологического процесса линейных интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.11) $f Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова |
| 210 | # | # | $a Таганрог $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 17-18 (10 назв.). Для служебного пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.11 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Бударин $b В. Н. $g Владимир Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |