|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37978040000 |
| 005 |
20150317140509.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 2 р. 60 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-13608]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070831d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы микротехнологии
$f Пер. с англ. В. А. Володина и др.; Под ред. А. В. Шальнова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Мир
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 494 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Перевод изд.: The phyzicz öf microfabrication / Ivor Brodie, Julinz J. Muray (New York; London, 1982)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 465―483
|
| 320 |
# |
# |
$a Предм. указ.: с. 484―492
|
| 345 |
# |
# |
$9 11000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Броудай
$b И.
$g Ивор
|
| 701 |
# |
1 |
$a Мерей
$b Д.
$g Джулиус
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070831
$g psbo
|
