Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13) / Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисов, Ю. В. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37792110000 | ||
| 005 | 20070831113020.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.13) $f Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-19 (26 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Борисов $b Ю. В. $g Юрий Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |