Создание твердых планарных источников фосфора для легирования кремния в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Богдановский, Ю. Н. |
| Published: | М. , 1984 |
| Physical Description: |
24 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||