Создание твердых планарных источников фосфора для легирования кремния в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Богдановский, Ю. Н. |
| Апублікавана: | М. , 1984 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
24 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||