Разработка и исследование методов генерирования в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Богач, Н. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1983 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37571500000 | ||
| 005 | 20070831101111.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070831d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование методов генерирования в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. Библиогр.: с. 22-23 (10 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.3.049.77.002 |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Богач $b Н. В. $g Николай Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070831 $g psbo |