|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37378800000 |
| 005 |
20230727132543.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 50 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [72-62932]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1972 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкопленочная технология
$f Перевод с англ. В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1972
|
| 215 |
# |
# |
$a 336 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 329-335. Перед загл. авт.: Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис. На обороте тит. л.: Robert W. Berry, Peter M. Hall and Murray Т. Harris. Thin film technology
|
| 345 |
# |
# |
$9 9000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48-416.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Берри
$b Р.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Холл
$b П.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гаррис
$b М.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
