|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37350110000 |
| 005 |
20070830152133.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка, исследование и применение диэлектрических и полупроводниковых пленок, полученных методом катодного трехэлектродного распыления
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.17.16)
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН УССР. Ин-т полупроводников. Библиогр.: с. 16-19 (16 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.17.16
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Беришвили
$b З. В.
$g Заур Валерьянович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
