Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов: Конспект лекций / Моск. ордена Трудового Красного Знамени ин-т стали и сплавов. Кафедра производства чистых металлов и полупроводниковых материалов

Сохранено в:
Шифр документа: АН486047, АУ235979,
Вид документа: Книги
Автор: Беляев, А. И.
Опубликовано: М. , 1965
Физические характеристики: 253 с. : черт. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37244530000
005 20070830144329.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [65-76904] 
100 # # $a 20070830d1965 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов  $e Конспект лекций  $f Моск. ордена Трудового Красного Знамени ин-т стали и сплавов. Кафедра производства чистых металлов и полупроводниковых материалов 
210 # # $a М.  $d 1965 
215 # # $a 253 с.  $c черт.  $d 21 см 
300 # # $a На правах рукописи. Библиогр.: с. 249-250 
345 # # $9 600 экз. 
610 0 # $a Металлы химически чистые - Получение - Физико-химические основы 
610 0 # $a Полупроводники - Очистка - Физико-химические основы 
675 # # $a 669.2.087+621.315.59.002+[016.3] 
700 # 1 $a Беляев  $b А. И.  $g Анатолий Иванович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo